热式气体质量流量控制器简称MFC（Mass Flow Controller），热式气体质量流量计简称MFM（Mass Flow Meter），MFC是带有控制气体质量流量的装置，而MFM是不具有控制气体质量流量功能的装置。

目前使用广泛的是热式气体质量流量控制器即MFC，热式气体质量流量控制器的主要原理是：在直径较细的感应管中放置两对加热器，并将其控制在同一温度。当流体流动时，气体将上游的部分热量带给下游，而下游的加热器从上方获取热量温度上升。这时，利用上下加热器之间产生的温度差和流体的质量流量成比例的原理，来测定流量。热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比，它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。

热式气体质量流量控制器与质量流量计能使用于：Air, O2, N2, He, Ar, CO2, H2, CH4, C3H8, N2O, SF6, C3H6, CO, C4H10等绝大多数气体。主要用于：石油化工、半导体行业、气体分配系统、燃料电池、实验室气体检测，具有体积小、数字化程度高、安装方便，测量准确等优点。